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            波譜儀器

            波譜儀器全稱為波長分散譜儀(WDS)。是利用波譜法對物質的成分和結構進行分析的儀器。在電子探針中,X射線是由樣品表面以下m數量級的作用體積中激發出來的,如果這個體積中的樣品是由多種元素組成,則可激發出各個相應元素的特征X射線。波譜儀器的突出優點是波長分辨率很高。此外,由于經過晶體衍射后,強度損失很大,所以,波譜儀器難以在低束流和低激發強度下使用,這是波譜儀器的兩個缺點。

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